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探针台小知识

来源:南京芯测软件技术有限公司   2022年09月09日 10:55  
  一、探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
 
  二、特性:
 
  1、OTS-最近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其绝对位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于东京精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。
 
  2、QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。
 
  三、纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为代表的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。
 
  四、半自动探针台特点:
 
  机械手臂取放片
 
  电动、键入坐标寻位置
 
  量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
 
  LCD手动探针台
 
  白炽灯或者LED整面背光
 
  TFT元件特性、DriverIC量测分析
 
  机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

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