CPPT-DA型大理石气浮隔振平台 产品说明

大多数光学实验或工业生产都对系统稳定性有较高的要求。各种因素造成的振动会导致仪器测量结果的不稳定性和不准确性，严重干扰生产和实验的进行，振动来源主要分为来自系统之外的振动和系统内部的振动，地面固有振动，工作人员踩踏地板以及开、关门或墙壁碰撞等通过地面传来的振动均属系统之外的振动，这一类振动需通过光学平台的隔振支架衰减；而来自系统内部的振动包括仪器振动、气流、冷却水流等，则需依靠光学平台的桌面阻尼来隔绝。

 随着光学加工设备和测量仪器精度的不断提高， 其对工作环境的振动隔离提出了更加严苛的要求。例如，离子激光器泵浦喷流染料激光器时，激光器的振动要求达到了微米级；由于可见光波长约为0.5微米，即使振动在次微米级别时，以光的干涉为基础的实验（如全息摄影） 也将无法进行； LμmArray 公司的并行激光直写设备的直写头振动线位移不能超过15nm ;超精密机械加工的表面粗糙度要求已经达到 0.1nm  ;高精度扫面探针显微镜的双向分辨率都已达到亚纳米级。因此，对光学加工设备及光学测量仪器进行有效的隔振是保证科研生产活动正常进行的必要条件。

同时，对于大型精密光学仪器来说，其除了有近乎严苛的隔振要求外，仪器本身往往还具有较大的体积和质量，这对作为隔振基础的光学隔振平台的承载能力和工作空间也提出了更进一步的要求。因此，隔振性能好、承载能力强、工作空间大的大型或超大型精密光学隔振平台具有了较大的市场需求。

创谱仪器自主研发生产的光学隔振平台广泛的应用于精密科研光学试验、加工及测量中，是您理想的选择。

◆台面采用双零级大理石，表面精度高，平面度高，稳定性好

◆创谱大理石气浮隔振平台隔振基础同样采用精密囊式空气弹簧隔离、减振液和高阻尼小孔，隔振性能良好

◆轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑

◆自动水平，自动充气，全部气动执行元件，采用原装德国FESTO产品

◆*空气机气源，噪声低（小于65分贝）

技术参数

◆水平方式：自动充气，自动平衡

◆表面粗糙度：＜0.08μm

◆固有频率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅：≤1.2μm

◆重复定位精度：±0.05mm

应用

◆精密测量仪器 ◆医疗设备 ◆包装机械 ◆精密电子元器件装配 ◆光谱测量与校准 ◆激光干涉 ◆光电仪器研发与测试 ◆精密机械制造