一、射频探针

RF晶片探针将沿同轴电缆传播的电磁能转换为晶片上DUT及其接触垫。转换必须以最小的失真和能量损失进行。各种类型的RF DUT之间存在显着差异：从分立元件到在非常宽的频率范围内工作的复杂IC。因此，RF探针技术必须支持各种频率和间距以及各种配置。最后，探头价格和探针头寿命直接影响测试的DUT成本。当然，后者必须保持尽可能低的水平。通过对当今RF应用所面临的众多挑战的深刻理解，MPI公司开发了TITAN™RF探针，这是专为这些复杂应用而优化的产品系列，主要针对高级RF客户的要求。TITAN™探针利用MPI高水准的MEMS技术，在射频测试领域提供新的技术和制造进步。MPI射频探针指南

二、校准基板

商用探针RF校准标准采用共面设计，包括不同类型的校准元件：开路，短路，负载和线路。因此，可以执行各种类型的探针准。MPI射频探针指南

MPI AC系列校准基板专门开发用于提供TITAN™探针的精确探针校准。校准标准的设计与探头配置和间距尺寸相匹配。标准等效阻抗的模型参数定义了校准的准确度，并以高精度提取。

三、射频校准软件

在晶圆级射频校准和微波测量细节进行详细的了解MPI的长期经验，随时为QAlibria底部® - MPI的射频校准软件。QAlibria ®旨在使RF系统校准简单的复杂和繁琐的任务。其*的多点触控和多语言图形用户界面以及原始的NIST多线TRL校准功能*改变了晶圆级RF系统校准。

四、射频电缆和配件

RF测量的成功取决于整个系统的最佳配置。为了达到同类最佳的系统性能，MPI提供了出色的柔性电缆，波导部分以及各种适配器，可用于完整的RF探头系统集成。经过校准的扭矩扳手，TITAN™探针平面化和清洁配件有助于长时间保持系统测量性能达到高水平。

五、产品特点：

1.MEMS技巧

MPI TITAN™探针精确制造，采用匹配的50ΩMEMS触头。凭借出色的探头电气特性（最小的插入损耗和串扰以及高回波损耗），它们可在最宽的频率范围内确保的校准和测量结果。

2.*的接触结构

与市场上的任何其他技巧不同，MPI TITAN™射频探头由于*的突出设计，可提供触点的出色和实时可见性。有史以来第一次，即使对于没有经验的操作员并且不使用探针对准标记，RF探针在校准标准或DUT垫上的高度精确定位也成为可能。

3.减少接触探针

MPI公司推出了TITAN-RC探针，扩展了RF TITAN探头系列。新型探头型号的触头宽度减少了33％，降至20μm。TITAN-RC探针*符合行业趋势，即进一步降低RF器件和IC的焊盘尺寸，显着降低了下一代商用RF和毫米波硅器件和IC的测试成本。它可以为Si器件获得精确，可重复的测量结果，铝焊盘金属化尺寸小至30 x35μm。TITAN-RC探针采用GSG配置，探头间距为50μm至150μm。

4.出色的使命寿命

TITAN™探针技术强大的功能之一是其均匀的磨损：在数十万个探针循环后，探针的长度自然缩小。然而，由于*的探头设计，电气特性保持不变。因此，TITAN™探针的使用寿命优于同类探针技术的使用寿命，并以真正实惠的价格脱颖而出。