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扫描电镜一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要 的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交 叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其它物 理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
扫描电镜的日常维护
1.保持仪器操作台面整洁，不允许身体倚靠，冻水机等装置不可放置重物
2.开机时一定要先开水冷系统,并要检查冷却水的温度，关机至少15分钟后才能关闭冷却水
3.进样品时,检查Z轴和T轴的位置.缓缓关闭样品室,确保进样仓门*关闭,才可点击EVAC按钮抽气
4.移动样品，通过配合移动Stage Driver 将载物台向X轴和Y轴方向移动，从而移动样品，并保证小于最大允许值
5.倾斜样品，-10°~+45°，要十分当心，不要撞坏探头。要根据样品台和样品状况选择倾斜角度，注样品可倾斜的最大安全角度必须小于允许值，防止样品撞伤物镜极靴
6.用BSE探头时不可倾斜样品台
7.样品只有在加速电压关闭的情况下才可取出，不作样品扫描时要关闭高压
8.放气时HT必须处于关闭状态，必须等待120秒后才可轻轻拉开样品交换仓的门
9.更换钨灯丝时， 等待两分钟时间，然后打开电子枪，用专门的器具取出钨灯丝连同钨灯丝罩，以免被烫伤
10.电镜需要手动调节的部分主要有光阑,象散，工作距离调节的旋钮等，其他部件不允许调整
11.每周加两到三次液氮，两次间隔不超过四天。
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