莱宝TTR101N真空计参数

变送器开箱之前，检查包装材料的各个表面，查看是否存在运输损坏。检查可见损坏。如果发现损坏，请立即通知承运方。
请确认变送器包装中含有以下物件：
 1 件TTR 101 N THERMOVAC 变送器
 1 件中文简式手册 (P/N: 300544668_002)
 1 件德文简式手册 (P/N: 300544668_001)
 1 件产品检验测试报告
 1 件通过按钮调整设定时需用的销 (仅适用于 P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02、230366V02)
如果缺失任何物件，请联系 Leybold。
6 300544655_002_C0 - 10/2016 - © Leybold
2 说明
TTR 101 N THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1500 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和压电传感器中硅膜的机械偏转的测量结果。
配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230702V02) 的变送器版本可设置变送器参数，并可提供实时压力测量结果。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情，请参阅第 0 章。
TTR 101 N THERMOVAC 变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。
传感器技术
变送器含有两个独立的传感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。
压电传感器基于相对于集成式参考真空的硅膜机械偏转测量结果。压电传感器独立于气体成分和浓度来测量真实的绝对压力。
这两个传感器元件都极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
 真空锁压力控制
 一般真空压力测量
 前级管道和粗抽压力测量
 气体回填测量和控制
 质谱仪控制
 启动超高真空电离 (UHV) 规
 系统过程控制
 检测异常压力，利用设定点继电器采取妥当的安全措施
 控制系统压力

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