光学轮廓仪-台阶高度测量、表面粗糙度测量

光学轮廓仪-台阶高度测量、表面粗糙度测量

     Profilm3D光学轮廓仪-台阶高度测量、表面粗糙度测量仪使用了进的垂直扫描干涉(VSI)结合高精度相移干涉(PSI)测量.以前所未见的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。通过光学扫描仪扫描表面轮廓可进行台阶高度测量，表面粗糙度测量。

  n干涉测量法是研究同一光源发出的多个光束的波阵面之间的干涉。干涉计是一种把从一个光源发出的单束光分成两束，然后又重新合并以产生干涉图案的光学装置

 VSI: 当扫描移动时，被测试的零件的不同区域被聚焦(零光程差的地方在干涉条纹之间具有大的对比度)。通过对大对比点的确认和知道马达的位置，就可以重新构造表面形状。

PSI：PZT (在加电压时，压电陶瓷会改变它的尺寸)以 l / 8的步长来推动镜子。 由于光从镜子反射，在两束光之间产生一个 l/4的相位漂移,l/4相位漂移相当于90度或p/2的相位漂移。