FR系列 晶圆薄膜厚度测量仪、硅片薄膜膜厚仪

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晶圆薄膜厚度测量仪、硅片薄膜膜厚仪

晶圆薄膜测厚/晶圆涂层膜厚仪/晶圆涂层膜厚仪/硅片薄膜厚度测量/晶圆涂层膜厚仪/纳米级薄膜测厚仪

  测量厚度、折射率、反射率和穿透率：

-     单层膜或多层膜叠加

-     单一膜层

-     液态膜或空气层

  不同条件下的测量，包括：

-     在平面或弯曲表面

-     光斑小可达20微米

-     桌面式、XY坐标自动化膜厚测量，或在线配置

1、规格参数

2、晶圆薄膜厚度测量仪、硅片薄膜膜厚仪配件选用指南

光斑配件选用、光源选用（测量波段选择）

3、原理简介

 白光干涉，紫外波段——红外波段

4、应用

可测量单层、多层薄膜

半导体膜层                                  液晶显示器            

  光刻胶                                       OLED

  加工膜层                                     玻璃厚度

  介电层                                       ITO和TCOs

光学镀层                                      生物医学

  硬涂层                                        聚对二甲苯

  抗反射层                                      医疗器械

          客户常用于测量、硅片（单晶硅）衬底沉积的氧化硅（SiO2）、非晶硅（a-Si）、多晶硅（p-Si）、氮化硅（Si3N4）、碳化硅（SiC）、光刻胶（高分子化合物）、非金属化合物、金属涂层（眼镜镜片涂层）、无机非金属膜层（用于半导体行业如液晶面板、芯片制造工艺）等等。

5、服务项

  样机试用、样品代测、工程师售前售中售后全方面技术支持。