覆层厚度的测量方法主要有:楔切法,光截法,电解法,厚度差测量法,称重法,X射线荧光法,β射线反向散射法,电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有损检测,测量手段繁琐,速度慢,多适用于抽样检验。
X射线和β射线法是无接触无损测量,但装置复杂昂贵,测量范围较小。因有放射源,使用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
日立分析仪器XRF镀层测厚仪系列在电子和金属表面处理行业已有超过40年镀层分析的成功经验。X-Strata920 XRF镀层测厚仪可确保镀层符合规格要求,并将镀层过量或过少镀层废料造成的浪费减至少。随着X-Strata功能的扩展,用户可以通过该仪器进行更多工作。这一款新型X-Strata意味着可选择高分辨率硅漂移探测器(SDD)或正比计数器定制仪器,以优化其性能。此外,它现在拥有四个腔室和基座配置,可处理各种形状和尺寸的样品,包括汽车行业中的复杂几何形状。对于复杂的镀层结构,SDD可以提供优于正比计数器的优势,因为它更易分析具有类似XRF特征的元素,例如镍和铜。这扩大了可以用于分析的元素范围,包括磷 — 对于化学镀镍分析非常关键,并且可以更地测量较薄镀层,例如符合IPC-4552A的纳米范围的金。
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