主机箱

输入电压

AC220±10% 50/60HZ

沟通方法

RS-232C

温度控制

前置放大及机箱温度控制

对焦

激光自动对焦

样品对位

激光对位

安全装置

若测量中箱门打开，X射线会在0.5秒内关闭

表面泄漏

少于1 SV

多通道分析

通道数量

1024ch

温度控制

自动前置放大温度控制

脉冲处理

微电脑高速处理器

X射线源

X射线管

油冷，超微细对焦（选项）

高压

0 - 50KV（程控）

管电流

0 - 1mA(程控)

目标靶

W靶（可选Mo或Be）

准直器

种类

固定型或自动型（选项）

固定种类大小

可选0.1,0.2,0.3,0.4,0.05X0.3mm

其他大小（选项）

自动种类大小

0.1,0.2,0.3,0.4,0.05X0.3mm

计算机系统

计算机

IBM相容

显示器

彩色显示器

打印机

喷墨彩色打印机

校正

应用

单镀层，双镀层，合金镀层，电镀液

修正功能

密度修正，标准样品再校正

2D、3D随机位置测量

2D

均距表面测量

3D

表面排列处理测量

随机位置

任意设定测量点