ULVAC爱发科（日本真空技术株式会社），1952年成立，是全球真空行业、日系真空龙头，真空泵、真空计、镀膜设备、检漏仪、MFC流量控制器全品类覆盖，半导体、面板、光伏、锂电行业占有率高，和EBARA

SIBATASCIENTIFICTECHNOLOGY柴田科学，创立于1921年，总部东京，是日本百年老牌精密仪器厂商，核心聚焦环境监测、气体流量控制、采样设备、实验室分析仪器，在半导体、洁净室、化工、

REVOX（莱宝克斯），2001年成立于日本神奈川县，日系精密光纤LED冷光源品牌，专注超高亮度、高稳定性光纤耦合光源、线扫光源、紫外/红外特种光源，是半导体晶圆、SiC碳化硅、面板、锂电、PCB精密

CCS（中文品牌名：晰写速），1993年成立于日本京都，是全球机器视觉LED光源品牌，专注工业视觉精密照明，半导体、电子制造、锂电、3C、汽车行业标配光源，国内运营主体为晰写速光学（深圳）有限公司（日

EBARA（荏原制作所）是日本百年真空设备品牌，全球半导体真空设备龙头，主打干式无油真空泵，适配半导体、光伏、化工、精密制造等高洁净、耐腐蚀、高真空工况，是刻蚀、CVD、MOCVD、SiC碳化硅工艺的

真空泵的核心原理是通过特定的机械或物理手段，在目标空间内制造压力差，将气体分子从低压区域（待抽真空空间）转移到高压区域（通常是大气），从而降低目标空间的气体压力，实现真空状态。根据工作原理的不同，真空

为了研究真空和实际应用的方便，常把真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空四个等级。随着真空度的提高，真空的性质将逐渐变化，并经历由气体分子数的量变到真空质变的过程。（1）粗真空（105～102Pa

01超高真空常用单位1.毫巴（mbar）来自于气压的单位bar，1000mbar=1bar=1*105Pa；2.托（Torr）来自于托里拆利实验中的毫米汞柱（mmHg）760Torr=1atm；3.帕