SMH-V系列 电动直驱升降台 返回列表页

SMH-V系列 电动直驱升降台是纳米级定位精度托举运动Z向平台，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035和SMH225V-050等，对应行程分别是12mm、22mm、37mm和52mm。它是ART130XY和SMH-LM系列水平运动平台的有效补充， SMH-V系列升降台具有尺寸紧凑、侧向高度低、定位精度和重复性优良、最小步进精度量小、承载能力强和步进稳定时间短等优点。SMH-V系列升降台采用巧妙的机械设计，在保证精度和承载能力的同时，可以有效节省安装空间。

SMH-V系列 电动直驱升降台虽然结构紧凑但是有较强的驱动能力，最大负载可达60kg。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，SMH-V系列平台的在位稳定性和最小步进量可以小于20nm，重复性优于±200nm。主要应用于半导体领域的晶圆缺陷检测、光学透镜检测、生物医疗和精密加工等领域，可以根据客户的应用，在不大幅增加平台高度的前提下提供抱闸和断电自锁选项，也可以根据客户需求定制更大行程和更强承载能力的高精密升降台。

备注：

（1）平行或垂直于运动方向测量；

（2）沿轴线方向受力；

（3）适配-AS反馈，配置线性放大器；

（4）空载测试；

（5）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（6）其他行程可定制。