RAB系列 气浮转台 返回列表页

RAB系列是高精度高精度气浮直驱转台，采用旋转电机直接驱动，具备非常优秀的动态性能和定位精度。除了市场前沿的轴向、径向和倾斜误差运动性能外，RAB系列气浮转台还提供可靠的旋转定位精度和、重复性，和负载能力，很容易集成到多轴运动系统中。

RAB系列气浮转台采用杰出的工业化设计，转动台面尺寸150mm，也可以用户需求定制其他尺寸的台面。选用高精度圆光栅位置反馈，定位精度小于1角秒，轴向和径向跳动小于250nm，机械性能非常突出。

RAB系列采用地心科技自主研发的圆形直驱电机，有较强的驱动能力和较大的扭矩，空载转速超过1500rpm。配置线性放大器，带隔振实验室环境下，RAB转台的在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒。主要应用在测量检测、晶圆螺旋线检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目。

备注：

（1）适配-AS反馈，配置线性放大器；

（2）空载，需配置相应功率的放大器；

（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。

（5）为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。