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ULVAC爱发科 机械增压泵 真空 PMB2400D
ULVAC爱发科 机械增压泵 真空 PMB2400D
机械增压泵是一种可显著提高抽速的泵。
通过与油旋转真空泵或干泵等粗抽泵组合使用,在粗抽泵抽速下降的压力范围内,可以显著提高粗抽泵的抽速。
应用于半导体工艺、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞测试、太空探测、真空浸渍、真空干燥等众多领域。
通用型机械式增压泵
“型号:PMB Ver.D"是通用型机械式增压泵。
可选择可选的表面处理和常压驱动类型,也可以进行风冷运行。
长处
配备用于空气冷却的变频器,可在整个压力范围内进行风冷作。
由于它与可从多电压电机(200V 级、多电压)中选择的通用电机兼容,
因此也可以安装防爆电机(可选)。
表面处理具有优异的耐腐蚀性(选项:T 型)
主要部件经过阳极氧化处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。 减少泵内部的划痕和腐蚀。
由于可以同时使用常压驱动型(选项:变频器)
粗抽泵同时启动,可有效缩短排气时间,因此与标准型相比,可以缩短排气时间。
除了针对特殊应用的标准可选支持
外,还提供用于特殊应用的型号。
型号 *1 | PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | ||||
最大抽速 | 50 赫兹 | m3/h (升/分钟) | 95 (1,580) | 280 (4,670) | 500 (8,330) | 1,000 (16,667) | 2,000 (33330) | 2,500 (41,667) | |
60 赫兹 | 115 (1,920) | 330 (5,500) | 600 (10,000) | 1200 (20,000) | 2,400 (40,000) | 3,100 (51,667) | |||
最大吸入压力 | 50 赫兹 | 帕 | 9.3×103 | 1,2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
60 赫兹 | 6.2×103 | 9.3×102 | 1,1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
最大允许压差 | 50 赫兹 | 帕 | 8.0×10 元3 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
60 赫兹 | 5,6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
极限压力 *2 | 帕 | 4.0×10-1 | 6,7×10-1 | ||||||
可驱动压力 | 帕 | ~1.0×105 (常压驱动) | |||||||
电机 *3 | 电机功率 (位数) | kW (位数) | 0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
200V 级 电机 | 50 赫兹 | V | 200 | ー | |||||
60 赫兹 | 200/220 | ー | |||||||
多电压 电机 | 50 赫兹 | V | 220~240/380~415°C | 200~240/380~415°C | |||||
60 赫兹 | 208~240/380~460°C | 200~240/380~460°C | |||||||
使用油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
所需油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
冷却系统 *5 | 风冷 | 风冷/水冷 | |||||||
冷却水 | 入口压力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
入口压差 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
冷却水量 | 升/分钟 | ー | 2 | 3 | |||||
冷却水温度 *6 | °C | ー | 5~30 | ||||||
进气口 JIS-B-2290 | VG50 等效值 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | VG200 等效值 |
用
气相沉积、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析仪器, 泄漏测试设备
气体置换、填充、真空绝热
热处理炉、熔炼炉
其他真空设备