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产品介绍
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 LR3601-TR
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 LR3601-TR
多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 最常见的泵之一是罗茨干式真空泵。
通过在低温范围内平衡泵体的热量，它是 PVD 工艺抽真空的理想泵，尤其是在制备和取出室中，缩短泵送时间以提高吞吐量非常重要。
长处
除了低温整平（型号：LR）
PVD 工艺外，它还特别适用于制备室和取出室的排气，在这些地方，缩短抽气时间对于提高产量很重要。
由于其密封结构，由于其密封
结构，它非常安全。
瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止
措施。
优异的耐腐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊
表面处理。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用
成膜设备（溅射设备、气相沉积设备等）
减少准备室和取出室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气、机械增压泵）
规范
| 型 | LR300 系列 | LR600 系列 | LR1200型 | LR1800 系列 | LR3601 系列 | LR3601-T（TT） 铜皮 | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） 铜 | ||
| 使用的泵 | DRP | LR60 系列 | LR90 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | LR421 系列 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | PRC-036C 系列 | PRC-036C（-T） 系列 | PRC-036D 系列 | PRC-036D（D-T） 系列 | ||
| 最大抽速 | 50 赫兹 | m3/h （升/分钟） | 359 （5,980） | 653 （10,900） | 1,012 （16,900） | 1,701 （28,350） | 3,200 (53,333) | |||
| 60 赫兹 | m3/h （升/分钟） | 365 （6,080） | 701 （11,700） | 1,051 米 （17,500） | 1,784 （29,700） | 3,200 (53,333) | ||||
| 极限压力 | 0.67 帕 | |||||||||
| 最大入口压力（入口压力） | 气压 | |||||||||
| 最大排气口压力（排气压力） | 1Pa ~ 大气压 | |||||||||
| 进气口 （CE 规格） | VG80 （KF80） | VG100 型 （KF100） | VG150 型 （KF100） | VG150型 | ||||||
| 排气口 | 肯氟烃40 | KF50 系列 | ||||||||
| MBP 表面处理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T：× TT：× | × | TR：× TTR：〇 | ||
| 质量 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电力 *3 | 三个阶段 | VAC （赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | ||||||
| 当前值 | 稳态 | 一个 | 7.0 （200V 时） | 12.3 （200V 时） | 13.7 （200V 时） | 21.4 （200V 时） | 31.0 （200V 时） 400V 时 20.5 | 35.4 （200V 时） 400V 时 20.5 | ||
| 最大值 | 一个 | 9.6 （200V 时） | 19.0 （200V 时） | 24.2 （200V 时） | 39.8 （200V 时） | 200V 时为 58.4,400V 时为 40.5 | 82.0 （200V 时）400V 时 40.5 | |||
| 冷却水临时压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2 吹扫 | 轴 | SLM 系列 | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | ||||
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