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产品介绍
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR90
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR90
多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 最常见的泵之一是罗茨干式真空泵。
“Model：ECO-SHOCK"是一个划时代的附件，当连接到您当前的干式真空泵时
，它可以显着节省干泵的能源。
长处
有助于节能将干式真空泵的功耗降低
高达 80%（与本公司相比），
还具有抑制干泵发热的作用，可降低空调设备的功耗。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒气体等的泵。
提高干泵的性能提高极限压力性能降低
排气噪音降低排气速度在连续运行时间不超过
1000 Pa 的应用中实现
高效率
*可安装在排气口抽真空没有问题的干泵上。
易于安装
用
干式真空泵用于抽空空气、氮气和氩气等惰性气体
用于溅射制备室和取出室的干式真空泵
ES10 系列
| 型号名称 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 |
| 抽速*1 | 1300升/分钟 | 2100升/分钟 | 3980升/分钟 |
| 实测功耗*2 | 2.1千瓦 | 3.6千瓦 | 6.6千瓦 |
| 安装 ECO-SHOCK 时测得的功耗 *3 *4 | 0.7千瓦 | 1.0千瓦 | 1.6千瓦 |
| 功率降低率 | 67% | 72% | 76% |
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