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当前位置：合肥重光电子科技有限公司>>去胶清洗>> CGST3100全自动干法去胶机
产品介绍：
1设备名称：全自动干法去胶机
2设备型号：CGST3100
3全自动干法去胶机设备原理：ICP
4晶圆尺寸Wafer size: 8 inch（4或6 inch兼容）
5晶圆材料Wafer material: Si基（若为其他材料需写明）
| 设备主体 | |
| 设备尺寸 | L1300×W1190×H1847mm |
| 设备重量 | 800Kg |
| 设备电源 | AC220V，3P,50/60Hz，5线，16A |
| 主机软件 | Windows 10 |
| 主机通讯 | SECS/GEM |
| 主机硬盘 | 单/双 |
| 工艺腔 | ICP，单腔 |
| 料盒类型 | 开放式（Open cassette） |
| 晶圆单次处理容量 | 一片 |
| 机械手 | 3轴（单/双臂选配） |
| 机械手 | Mapping(选配） |
| 每小时出片量（WPH) | 35片/小时 (1分钟标准配方) |
| 加热盘 | 铝合金，控温：50-250℃ |
| 等离子发生系统 | |
| 电源类型 | 射频 |
| 电源功率 | 0~1000W |
| 电源频率 | 13.56MHz |
| 匹配器 | 自动匹配 |
| 真空系统 | |
| 工艺腔 | 铝合金 |
| 腔门 | 门阀，气动 |
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
| 蝶阀 | 控压精度：±50 mtorr |
| 真空管路开关 | 角阀，气动 |
| 真空泵 | 干泵：600m3/h |
| 真空计 | 0.001-10 Torr |
| 腔体真空开关 | 750 Torr |
| 前级管道真空开关 | 100 Torr |
| 气体系统 | |
| 工艺气体系统 | 气柜，模块化（GAS BOX) |
| 气柜箱体材质 | 不锈钢 |
| 气柜排气 | 负压，酸排 |
| 气柜配置 | 过滤器，手动阀，流量计，气动阀，压差计，调速阀，连锁开关 |
| 气体路数 | |
| 气路1 | O2 5SLM |
| 气路2 | N2 1SLM |
| 气路3 | CF4 100SCCM |
| 气路4 | 4%H2/N2 1SLM |
| 气路5 | N2 慢/快速破真空 |
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