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HORIBA STEC SEC-N114MGM 高精度数字式质量流量控制器（MFC）

产品概述

HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能数字式质量流量控制器，隶属于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。该系列产品专为半导体制造、光通信、精密气体控制实验室等对气体流量要求较高的工业场景设计，具备高精度、多通信协议支持和快速响应等特点。

主要特点

• 高精度控制：控制精度可达 ±1.0% 设定点，确保流量控制的准确性。

• 快速响应：响应时间小于 1 秒，适用于动态过程控制。

• 多通信协议支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多种通信协议，确保与不同系统的兼容性。

• 多气体/多量程功能：用户可通过软件更改气体类型和满量程设置，无需更换设备，提升灵活性。

• 高可靠性设计：采用 316L 不锈钢接液材质，适用于腐蚀性气体，高洁净工艺兼容。

技术参数

• 型号：SEC-N114MGM

• 流量范围：1 SLM 至 10 SLM（以氮气为基准）

• 控制范围：2% 至 100% 满量程

• 测量范围：0% 至 100% 满量程

• 控制精度：

• 当流量大于 25% 满量程时：±1.0% 设定点

• 当流量小于或等于 25% 满量程时：±0.25% 满量程

• 响应时间：小于 1 秒

• 重复性：±0.2% 满量程

• 线性度：±0.5% 满量程

• 工作温度范围：5°C 至 50°C（推荐 15°C 至 45°C）

• 工作压差范围：50 至 300 kPa（差压）

• 最大工作压力：450 kPa（表压）

• 泄漏率：≤ 5 × 10⁻¹² Pa·m³/s（氦气）

• 电源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA

• 通信接口：支持 DeviceNet 协议

• 接液材质：316L 不锈钢

• 标准接头：1/4 英寸 VCR 或 Swagelok 接头

• 安装方向：不限

• 阀门类型：常闭型（C 型）

应用领域

• 半导体制造中的气体输送与刻蚀工艺

• 光通信器件的高纯气体控制

• 研究与测试实验室

• 食品和饮料制造中的灭菌过程