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HORIBA S48-32/HMT 热式质量流量控制器（MFC）

产品简介

HORIBA S48-32/HMT 是一款广泛应用于半导体、光伏、LED、LCD 等行业的高精度热式质量流量控制器。该产品采用热式传感原理和先进的数字控制算法，具备快速响应、高精度控制和多种信号接口等特点，是工艺气体输送与控制系统中重要的核心设备之一。

产品特点

• 热式质量流量计测量原理，适合高纯气体及腐蚀性气体的精确控制

• 快速响应时间：小于1秒，显著提升工艺反应速度

• 高精度控制：保证±1.0% S.P. 或 ±0.3% F.S. 精度，满足苛刻工艺要求

• 多种通信协议可选：支持模拟信号（0–5V、4–20mA）与数字通信（RS-485、PROFIBUS 等）

• 金属封装结构：主体采用316L不锈钢材质，兼具气密性和耐腐蚀性

• 安装灵活：支持水平或垂直安装，适用于多种空间限制场景

• 全自动化兼容：可轻松集成进现有PLC、DCS或半导体设备控制系统

技术参数

• 测量原理：热式质量流量计（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：基于可变 PID 的闭环控制

• 流量范围：10 SCCM ～ 50 SLM（具体范围需根据气体类型和设定选择）

• 适用气体：氮气（N₂）、氩气（Ar）、氧气（O₂）、氢气（H₂）、四氟化碳（CF₄）、三氟化氮（NF₃）、六氟化硫（SF₆）、硅烷（SiH₄）、磷烷（PH₃）等多种腐蚀性和非腐蚀性工艺气体

• 精度范围：

• 当设定值大于 30% 满量程时：±1.0% of Set Point

• 当设定值小于或等于 30% 满量程时：±0.3% of Full Scale

• 响应时间：小于 1 秒

• 通信接口：

• 模拟信号：0–5V、0–10V、4–20mA（电压或电流型可选）

• 数字通信：RS-485（F-NET 协议）、PROFIBUS 等

• 电源需求：

• 模拟型：±15V DC

• 数字型：24V DC

• 环境温度：工作温度范围 5°C ～ 50°C

• 外形尺寸：约 81.8 毫米（宽） × 30.5 毫米（厚） × 126 毫米（高）

• 重量：约 1.2 公斤

• 材质：316L 不锈钢 + 金属密封结构

• 安装方式：支持面板式或机架式安装

• 认证标准：CE、RoHS 等（根据型号确定）

应用领域

• 半导体制造设备中的气体注入系统（Etching、CVD、ALD）

• 光伏电池组件的气体控制系统

• OLED/LCD 面板制造工艺流程

• 精密气氛控制实验装置

• 等离子体工艺中的高纯气体调节

• 化工与材料科学研究领域的过程控制

型号说明

HORIBA S48 系列包括多个子型号，典型型号如下：

• S48-32/HMT：标准型，支持模拟和数字通信接口，适配通用工业或半导体设备

• S48-28/HMT：流量范围或接口特性有所不同，需确认具体选型参数