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HORIBA SEC-N100 系列数字式质量流量控制器

产品概述

SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器、光电子、生物医药等领域。该系列支持多种通信协议，具有较高的精度、快速响应能力和强大的多气体、多量程适应能力，是新一代工艺控制系统的理想选择。

核心特点

多气体 / 多量程功能（Multi-Gas / Multi-Range）

• 支持多种气体类型（N₂、O₂、Ar、H₂、SiH₄、PH₃、CF₄、SF₆、NF₃ 等）

• 满量程流量可通过配置软件快速切换，适应不同工艺需求

• 用户可灵活自定义气体参数，无需更换设备

高精度控制

• 设定值 > 30% F.S.：精度为 ±1.0% of Set Point

• 设定值 ≤ 30% F.S.：精度为 ±0.3% of Full Scale

快速响应

• 可变 PID 控制算法

• 1 秒内达到设定值响应（响应时间 < 1s）

多种通信接口

• 模拟信号接口：0–5V、0–10V、4–20mA

• 数字通信接口：RS-485（F-NET）、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT

• 支持远程监控、过程自动化、工业集成

宽量程覆盖

• 流量范围从 10 SCCM 到 200 SLM，适配不同工艺设备

• 常见型号包括 SEC-N112MGM（模拟型）、SEC-N112MGR（RS-485型）

技术规格

• 测量原理：热式质量流量计（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：基于可变 PID 的闭环控制算法，实现快速稳定的流量调节

• 适用气体：支持多种腐蚀性和非腐蚀性气体，如 N₂、O₂、Ar、H₂、SiH₄、PH₃、CF₄、NF₃、SF₆ 等（使用前需确认气体兼容性）

• 精度说明：

• 当设定值大于 30% F.S. 时，精度为 ±1.0% of Set Point

• 当设定值小于或等于 30% F.S. 时，精度为 ±0.3% of Full Scale

• 响应时间：小于 1 秒，适应工艺过程中的快速切换

• 流量范围：从 10 SCCM 到 200 SLM，根据具体型号而定，适配多种应用需求

• 通信接口：

• 模拟信号：0–5V、0–10V、4–20mA

• 数字通信：支持 RS-485（F-NET 协议）、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT 等主流工业协议

• 电源要求：

• 模拟型产品需 ±15V DC 供电

• 数字通信型产品需 24V DC 供电

• 工作温度范围：5°C 至 50°C，适用于洁净室及标准工业环境

• 设备尺寸：约 81.8 毫米（宽）× 30.5 毫米（厚）× 126 毫米（高）

• 产品重量：约 1.2 千克，结构紧凑、便于集成

• 安装方式：支持面板安装或机架安装，方便系统集成

• 产品认证：符合 CE、RoHS 等国际标准（依据型号）

应用领域

• 半导体工艺气体输送系统

• 真空设备中的气体注入控制

• 等离子体蚀刻与沉积设备

• 光伏太阳能电池制造

• OLED、LED、液晶显示面板生产线