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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>在线分析仪器>>质量流量计>> SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能数字质量流量控制器
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 差压式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,制药/生物制药 | 控制范围 | 10 SCCM ～ 500 SLM（以氮气 N? 为基准） |
| 支持气体 | 多种气体（支持用户自定义设置） | 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 响应时间 | ≤ 1 秒 | 通信接口 | 模拟（0-5 V / 4-20 mA）、数字、DeviceNet?、EtherCAT? |
HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能数字质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），集成多气体/多量程功能，具备出色的精度、响应速度和稳定性，广泛应用于半导体、光伏、光纤制造等高要求工业过程控制场景。
宽流量控制范围
控制范围覆盖 10 SCCM ～ 500 SLM，适配各种气体和工艺需求。
高控制精度
控制精度高达 ±1.0% S.P.，装配“可变 PID 系统"，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。
多种通讯接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模拟 0–5V DC 信号输出，便于系统集成。
多供电及密封选项
支持 ±15VDC 与 24VDC 两种供电，提供橡胶密封或金属密封可选，适应不同使用环境。
优异的长期稳定性与耐久性
高可靠性设计，适应严苛工业环境，减少维护频次。
半导体制造：CVD、Etching、Oxidation、Diffusion 等工艺气体精密控制
光伏与光电子制造
光纤预制棒与拉丝过程控制
精密材料薄膜沉积（PVD/CVD）
化学气相反应与配比混气控制
大气/真空环境下的实验室测试设备
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