HORIBA质量流量控制器丨产品推荐-曦源科学仪器（上海）有限公司

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产品型号HORIBA SEC-N112/122MGM

品牌HORIBA/堀场

厂商性质代理商

所在地上海市

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更新时间：2025-04-10 11:27:55浏览次数：300次

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产地类别	进口	产品种类	质量式
价格区间	面议	介质分类	气体
应用领域	环保,化工,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件	控制范围	10 SCCM 至 1000 SLM多种量程可选
通信模式和电源	多种可选	精度	+/- 1.0%
响应时间	1s	功能	多气体/多量程

产地类别

进口

产品种类

质量式

价格区间

面议

介质分类

气体

应用领域

环保,化工,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件

控制范围

10 SCCM 至 1000 SLM多种量程可选

通信模式和电源

多种可选

精度

+/- 1.0%

响应时间

功能

多气体/多量程

HORIBA SEC-N100 系列数字式质量流量控制器产品概述

　　SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器、光电子、生物医药等领域。该系列支持多种通信协议，具有较高的精度、快速响应能力和强大的多气体、多量程适应能力，是新一代工艺控制系统的理想选择。

产品特点

支持多种通信方式

数字/模拟通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®

高精度流量控制

控制精度达 ±1.0% of Set Point (*1)
重复性好，稳定性高

快速响应性能

响应时间：≤1秒（T98）
可变 PID 控制算法，确保不同气体/不同流量下的稳定输出

多气体/多量程功能

支持用户自定义更换气体类型和满量程（Full Scale）设定
降低库存成本，提高设备通用性和灵活性

高可靠性设计

无运动部件结构，可靠性更高，适合长期稳定运行
紧凑型设计，适配多种系统集成环境

技术规格

规格	选择通信模式	选择电源
SEC-N112MG SEC-N122MG SEC-N132MG SEC-N142MG SEC-N172R	数字通信 ▶RS485 F-NET协议模拟通信 ▶0〜5VDC	±15VDC（±5%） HORIBA的阵容包括租赁电源PE系列。
SEC-N114MG SEC-N124MG SEC-N134MG SEC-N144MG SEC-N174R	DeviceNet™通信	符合ODVA标准
SEC-N115MG SEC-N125MG SEC-N135MG SEC-N145MG SEC-N175R	CC-Link®通信模拟通信 ▶0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合CC-Link®标准24VDC（13至32VDC）
SEC-N116MG SEC-N126MG SEC-N136MG SEC-N146MG SEC-N176R	PROFIBUS™通信模拟通信 ▶0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合PROFIBUS™标准24VDC（13至32VDC）
SEC-N117MG SEC-N127MG SEC-N177R	EtherCAT®通信	符合EtherCAT®标准24VDC

适用行业与应用场景

半导体制程设备（如 CVD、Etching、PVD）
光电子器件制造
OLED 面板制程
医疗与生物制药气体控制
化学反应过程气体定量注入
实验室气体流量控制系统

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