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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>在线分析仪器>>质量流量计>> S48-32气体质量流量控制器
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 差压式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件 | 控制精度 | ±1.0% |
| 响应时间 | ≤1 秒 | 通信接口 | 模拟电压信号（0~5 VDC）或数字通讯（选配） |
| 使用温度 | 5～50°C | 工作压力 | 50～300 kPa |
HORIBA S48系列气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），适用于多种气体控制场合，兼具高精度、快速响应和高稳定性，广泛应用于半导体制造、分析仪器、真空工艺、环境监测、光纤制造等领域。
安装灵活：支持任意角度安装，提升现场布局的自由度。
高精度控制：采用多段线性调整技术，控制精度更高，调节比更宽。
快速响应：T98响应时间小于1秒，满足快速过程控制需求。
自动零点调整：具备自动零点修正功能，有效补偿环境变化带来的偏差。
多气体兼容：可适用于N₂、O₂、Ar、He、H₂等多种气体。
丰富的流量范围：覆盖10 SCCM至50 SLM，满足从微量到大流量的不同应用。
分析仪器：用于气相色谱、光谱仪、质谱仪等气体控制部分。
实验室研究：气体混合、等离子体实验、化学反应气体流量控制。
半导体与真空工艺：PVD、CVD、刻蚀、扩散等工艺中的精密气体输送。
太阳能电池制造：气体沉积、气氛控制。
光纤制造：MCVD/VAD/OVD等工艺中对反应气的精确控制。
环境监测：VOCs检测、PM2.5分析、动态稀释系统。
炉窑控制：气体配比、燃烧控制等工业过程。
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