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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>在线分析仪器>>质量流量计>> SEC-8000 F/D/E 系列高温数字式质量流量控制器
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 差压式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件 | 动态范围 | 3 SCCM 至 150 SLPM（具体视气体种类与型号而定） |
| 支持气体 | 各类高纯气体、腐蚀性气体 | 控制精度 | ±1.0% |
| 响应时间 | ≤1 秒 | 通信接口 | 数字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D） |
| 使用温度 | 5～50°C | 工作压力 | 1 ~ 3 bar |
| 接口类型 | 1/4 |
HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款专为高温环境设计的高温数字式质量流量控制器（MFC），适用于 15°C 至 120°C 的使用温度范围。该系列产品集成了高精度控制、快速响应和高洁净设计，广泛应用于半导体、光伏和光纤等行业的高温气体流程管理。
高温适用性：可在 15°C 至 120°C 的环境下稳定运行，满足苛刻工艺条件。
高精度控制：控制精度高达 ±1.0% of S.P.，确保关键工艺中流量稳定可靠。
快速响应性能：响应时间短，提高系统整体效率，适合动态气体控制需求。
全金属超洁净设计：适用于高纯气体和腐蚀性气体，适配最严苛洁净度要求。
多种通讯协议：支持数字（RS485）与 DeviceNet 通讯（根据型号区分）。
环保合规：通过 RoHS 标准，降低对环境的影响。
| 参数 | 数值 |
| 控制范围 | 3 SCCM 至 150 SLPM（具体视气体种类与型号而定） |
| 支持气体 | 各类高纯气体、腐蚀性气体 |
| 控制精度 | ±1.0% of Set Point（1~100% F.S.） |
| 重复精度 | ±0.2% of F.S. |
| 响应时间 | ≤1 秒 |
| 通信接口 | 数字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D） |
| 工作压力 | 1 ~ 3 bar |
| 使用温度 | 15～120°C |
| 接口类型 | 1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可选 |
| 电源要求 | 24 VDC ±10% |
| 认证标准 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
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