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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>在线分析仪器>>质量流量计>> HORIBAS600系列数字质量流量控制器
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 差压式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,制药/生物制药 | 控制范围 | 3 SCCM到500 SLM |
| 支持气体 | 多种气体（支持用户自定义设置） | 控制精度 | ±1.0% |
| 响应时间 | ≤1.5 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模拟（0–5V/4–20mA） |
S600系列数字质量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研发，是一款高性能、高可靠性的MFC产品，适用于半导体、光伏、生物医药、食品包装等多个制造领域。该系列控制器采用优良的数字控制技术，具备出色的稳定性、精度及通讯能力，广泛应用于对气体流量控制要求较高的场合。
宽流量控制范围
控制范围覆盖 3 SCCM 到 500 SLM，适配各种气体和工艺需求。
高控制精度
控制精度高达 ±1.0% S.P.，响应时间小于 1.5 秒，确保控制过程的高一致性。
多种通讯接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模拟 0–5V DC 信号输出，便于系统集成。
多供电及密封选项
支持 ±15VDC 与 24VDC 两种供电，提供橡胶密封或金属密封可选，适应不同使用环境。
优异的长期稳定性与耐久性
高可靠性设计，适应严苛工业环境，减少维护频次。
| 参数 | 数值 |
| 可控气体种类 | N₂、O₂、Ar、He、H₂、空气等 |
| 流量控制范围 | 3 SCCM ~ 500 SLM |
| 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. |
| 响应时间 | ≤ 1.5 秒 |
| 通讯方式 | 模拟 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
| 供电电压 | ±15VDC 或 +24VDC |
| 接头类型 | 1/4" VCR、Swagelok、卡套接头等 |
| 密封形式 | 橡胶密封（R）、金属密封（M） |
| 安装方向 | 任意方向 |
| 工作环境 | 5–45°C，湿度小于90%RH |
半导体制造
光刻、离子注入、CVD、PVD等气体控制场合。
光伏设备制造
多晶硅扩散、PECVD等。
生物制药行业
精密气体反应控制、细胞发酵培养气氛调节。
食品和饮料
气调包装、注氮灌装、饮料杀菌与保存过程。
工业炉与热处理设备
气氛控制，提升热处理质量与一致性。
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