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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 差压式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件 | 动态范围 | 0.05～50 SLM（支持多量程切换） |
| 支持气体 | N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常见工艺气体 | 控制精度 | ±1.0% |
| 响应时间 | ≤1 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模拟（0–5V/4–20mA） |
| 使用温度 | 5～50°C | 工作压力 | ≤0.5 MPa（参考气体不同略有差异） |
| 接口类型 | 1/4 |
HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是一款高性能多量程/多气体数字质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称 MFC），专为半导体、化学气相沉积（CVD）、等离子体蚀刻及其他高精度气体控制应用设计。其核心优势在于 多气体、多量程、快速响应与高精度控制 的结合，极大提高了设备兼容性与工艺灵活性。
多气体/多量程支持
内置多种气体校准参数与多档满量程设置（Multi-Gas/Multi-Range，MG/MR），可通过配置软件灵活切换气体类型及流量范围，无需更换设备。
高速响应性能
借助 HORIBA 的“可变 PID 控制技术"，实现 1 秒内响应至设定流量值，提升生产效率。
高精度控制
利用非线性多项式曲线补偿，实现 ±1% S.P. 的控制精度，确保工艺稳定性。
多种通信接口可选
支持 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485、模拟电压/电流信号等，便于系统集成。
紧凑设计，安装方便
紧凑型模块设计适合狭小空间的机柜或管道系统，无需改动原有布局。
远程配置与诊断
支持通过 HORIBA 提供的软件进行参数设定、气体/流量切换、状态监测和故障诊断。
| 参数 | 数值 |
| 控制范围 | 0.05～50 SLM（支持多量程切换） |
| 支持气体 | N₂、H₂、Ar、O₂、He、CO₂、CF₄ 等常见工艺气体 |
| 控制精度 | ±1.0% S.P.（设定点） |
| 响应时间 | 优于 ±1.0% F.S. |
| 重复性 | ≤1 秒（0～设定点） |
| 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模拟（0–5V/4–20mA） |
| 工作压力 | ≤0.5 MPa（参考气体不同略有差异） |
| 使用温度 | 5～50°C |
| 接口类型 | 1/4" VCR® / Swagelok® 可选 |
| 电源要求 | +15～+24V DC，最大3W |
| 认证标准 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
半导体制程（CVD、Etching、ALD 等）
精密化学反应器
气体混配与输送系统
表面处理与薄膜沉积设备
光电/太阳能行业设备
激光切割与工业气体控制
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