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PI固化炉

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更新时间：2025-03-26 09:46:14浏览次数：191次

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PI固化炉适用于晶圆、玻璃基板、陶瓷基板旋涂后固化；晶圆退火。光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜、PI固化

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适用于晶圆、玻璃基板、陶瓷基板旋涂后固化；晶圆退火。光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜、PI固化

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