法国ANNEALSYS真空快速退火炉 返回列表页

产地：法国AnnealSys；

型号：AS-One100/AS-One150

AS-ONE立式快速退火炉为法国AS公司生产，分为AS-ONE 100, 150, 200三个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火炉产品。

应用：

 - 快速热退火  RTA；

 - 快速热氧化 RTO；

 - 扩散，接触退火；

 - 化合物半导体退火；

 - 氮化，硅化；

 - 硒化，硫化；

 - 石墨烯沉积，碳纳米管生长；

 - 晶体化，致密化；

技术规格：

规格

AS-ONE 100

AS-ONE 150

最大样品基底直径

100mm (4英寸)

150mm (6英寸)

腔体尺寸

130mm直径 x 25mm

200mm直径 x 25mm

红外灯数量/最大功率

12支 / 30KW

18支 / 34KW

红外灯冷却方式

风扇

风扇

标准温度范围

室温 ~ 1250°C

室温 ~ 1200°C

选配高温版本范围

室温 ~ 1500°C

室温 ~ 1300°C

升温速度

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

温度控制

快速数字PID控制器

快速数字PID控制器

热电偶

K型

K型

高温计

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

气体注入

石英视窗以下

石英视窗以下

清洗气路

标准配置

标准配置

工艺气路方式/数量

MFC / 5路

MFC / 5路

真空获得系统

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

干泵(10-2Torr)

分子泵(10-6Torr)

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

参考客户：

清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。

大尺寸样品快速退火炉

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

仪器特点：

  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA；

  -  可在真空、甚至于高真空环境使用；

  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；