Thermo Scientific 循环冷却器、水- 水热交换器和用户定制解决方案
 

      无论是光刻、注入、刻蚀、沉积、抛光、封装还是半导体测试，Thermo Scientific™循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。凭借在半导体行业30 多年的温度控制专业技术，我们提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及化服务，有助于满足您从光刻到最终测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

 

1 上述参数是在海平面高度用水作为循环流体，在过程设定点为+20℃，环境条件为+25℃及标称工作电压下得出的。制冷能力基于带P2泵的冷却器，无背压。规格如有变更，恕不另行通知。多种泵可选；其他泵会影响制冷性能。
2 上述参数是在海平面高度用乙二醇和水（比例为50/50）的混合物作为循环液体，在过程设定点为20℃，环境条件为+20℃及标称工作电压下得出的。其他液体、流程温度、环境温度、海拔高度或工作电压都会影响性能。规格如有变更，恕不另行通知。制冷能力基于带PD1泵的装置，无背压。其他泵会影响制冷性能。
3 上述参数是在用水作为循环液体，在水设备的过程温度为10℃下得出的。不同的水设备温度会导致不同的冷却能力。规格如有变更，恕不另行通知。
4 在不同国家和地区使用时，应选择合适频率和电压。
5 上述参数是在海平面高度用水作为循环液体，在过程设定点为20℃，环境条件为+20℃及标称工作电压下得出的。其他液体、流程温度、环境温度、海拔高度或工作电压都会影响性能。
 

产品特色

• 根据具体用途，设计的温度控制解决方案       • 专业温度稳定技术：可达+/- 0.001 ℃
• 使用不锈钢材料，减少腐蚀                     • 波动低

• 噪音低                                                                    • 拥有使用 HFE（氟化）特殊流体的经验
• 符合半导体合规性，包括：                             • SEMI S2/S8/S14/F47                  

• CSA/UL                                                                  • CE                               
• RoHS                                                                      • WEEE

 

为您的投资保驾护航

您的进程取决于具有稳定可靠，始终如一性能的产品。从启动和检查到完整的清洁维护，我们提供完整的服务解决方案来满足您的需求，由工厂进行修理和维护。

Thermo Fisher 的温控产品遍布
我们拥有服务网络，我们的直属和服务专业人才遍布世界，为客户提供支持：
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Thermo Fisher 支持的产品包括：
• Steelhead            • Endura SYS III                    • DIMax、DIMax II
• HTD                     • ThermoChill 系统               • MX500/900
• HX 150/300          • CFT                                   • ThermoFlex
• SWX                                                                 • 所有Neslab 品牌