滑动PECVD系统炉 返回列表页

●●●●炉体结构：PECVD系统炉采用双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度；炉膛采用高纯氧化铝纤维材料，减少能量损失；内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命，带有过热和断偶保护，开门断电，提高实验安全性；炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却。

●控温系统：包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化50段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度±1℃；默认DB9 PC通信连接端口；可选购电脑温度控制软件（用于YD858P系列控制器）用于控制升温曲线和导出数据。

●炉管：高纯石英管φ100*1000mm，镀铬钢制成的双滑轨，手动滑轨长度1400mm。

●真空法兰：

◎配有一套304不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封。

◎不锈钢真空法兰安装在炉管的两端，便于组装。

◎左端法兰采用1/4英寸的卡套接头，用于通入反应气体。

◎一个机械压力表安装在左端法兰上，用于监控管道压力。

◎法兰端提供Φ6.35mm卡套进气口，出气端配有独立的Φ9.2mm排气口和球阀，设备预留KF25抽气口和KF16真空计连接口，可连接真空组件。

●真空组件：

◎配齐真空泵1台（抽速≥16m³/h，真空度≤5.0X10-1Pa）

◎电阻真空计1套

◎手动挡板阀1个

◎波纹管1根

◎油雾过滤器1套

◎卡箍（型号：KF25）≥3个，以及相应连接件

●极限真空度：≤1Pa（冷态空载）

●进气：

◎配浮子流量计1套，量程可选，安装在设备上；

◎气瓶配备气体减压阀1套

●标准配件：石英管 ≥1 支，莫来石管堵 ≥1 对，不锈钢法兰 ≥1 套，硅胶密封圈 ≥2 套，高温手套 ≥1 副，炉钩 ≥1 支

●认证标准及核心零部件：整机核心部件均符合CE、UL、MET等认证标准；核心零部件有ABB电器元件，UL认证电线、电缆，欧米茄，宇电、欧陆仪表等。