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日本syscom纳米表面粗糙度形状测量仪分析 TN-A1 特点介绍
非常适合精密表面加工、CMP 加工的质量评估和晶圆检查
NanoSeven的光学配置采用光学外差干涉作为测量原理，通过分析两束光束之间的相位差获得的电信号进行测量。安装时无需隔振台或真空设备，高度分辨率可达0.1 nm以下。几乎无耗材，运行成本低。
缩短测量时间：几秒钟内即可测量Ra，提高良率
价格设定低：维护方便，几乎无耗材
无需隔振台，因此您可以安装在任何地方
非接触式测量：使用激光进行非接触式测量
宽范围测量：即使是大样品也可以自动进行多点测量
操作简单：从测量到保存结果、输出报告全自动
高分辨率：采用光学外差干涉法，分辨率为0.1nm
日本syscom纳米表面粗糙度形状测量仪分析 TN-A1 规格参数
测量方法光外差干涉测量法
高度分辨率0.1纳米
参考高度测量范围0.5nm～300nm
标准出行金额X轴25nm / Y轴25nm
光源氦氖红色激光（633nm）
物镜放大倍数：20X，NA0.4
本体外形尺寸宽313×深614×高428
体重约27公斤
软件虚拟仪器
夹具导电PET 180mm x 180mm
缩短测量时间：几秒钟内即可测量Ra，提高良率
价格设定低：维护方便，几乎无耗材
无需隔振台，因此您可以安装在任何地方
非接触式测量：使用激光进行非接触式测量
宽范围测量：即使是大样品也可以自动进行多点测量
操作简单：从测量到保存结果、输出报告全自动
高分辨率：采用光学外差干涉法，分辨率为0.1nm
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