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日本JUSTEM晶圆检测/测量设备手动测厚机 STM-06 的特点介绍
手动手柄和秤允许在固定位置进行测量。
通过真空吸附将晶圆固定在平台上。防止测量造成的划伤。
测量数据以 EXCEL 文件形式保存在连接的计算机上。
测量结果显示在PC上，方便查看。
还可根据要求提供地图显示等。
日本JUSTEM晶圆检测/测量设备手动测厚机 STM-06 的特点介绍
| 目标工作 | 硅（硅） |
|---|---|
| 工作尺寸 | φ4、5、6英寸 |
| 工作厚度 | 80 至 1,500μm |
| 设备类型 | 桌面型 |
| 安装环境 | 1000级 |
| 设备尺寸 | 宽426×深548×高323（毫米） |
| 设备重量 | 70公斤 |
| 电源电压 | 单相100V 50/60Hz 共用 |
| 真空 | -50KPa |
| 测量传感器 | 色差共焦传感器 |
| 测量精度 | 重复10次 标准偏差0.1μm以下 |
| 测量点 | 任意多点测量 |
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