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日本进口Nasgiken批量晶圆整体表面蚀刻设备 BEM-310该设备使用臭氧和HF对硅晶片的整个表面进行体蚀刻。气体蚀刻不会在晶圆表面产生水滴。蚀刻期间晶圆中...
日本nasgiken硅晶片气体蚀刻设备洁净室装置 BEM-310该设备使用臭氧和HF对硅晶片的整个表面进行体蚀刻。气体蚀刻不会在晶圆表面产生水滴。蚀刻期间晶圆中...
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