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产品简介
详细介绍
产品简介： GPC-100A 精确磨抛控制仪简称磨抛控制仪， 主要用来控制被研磨样品表面的平面度和平行度， 使磨抛后的样品具有高的尺寸精度和质量优良的表面状态。磨抛控制仪采用质量优良的不锈钢材料制成， 外形美观，制造工艺，主要适用于 UNIPOL-1202、UNIPOL-1502 研磨抛光机上，是工件进行磨抛时不 可缺少的精密磨抛器具， 尤其适用于晶圆样品、表面平行度和平面度要求高的大的圆片状样品的研磨。 GPC-100A 精确磨抛控制仪专用载样块用螺纹与控制仪进行连接， 试样装卡方式为真空吸附， 并配有数显 厚度测量仪，可实时监测样品减少的厚度，承载样件直径不大于 103mm 、厚度不大于 13mm 且具有工艺重 复性高的优点。
产品名称 | GPC-100A 精 确磨抛控制仪 |
产品型号 | GPC-100A |
主要特点 | 可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度，控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使 用，随时观测样品磨削量，尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨 使用。 |
技术参数 | 1、载样盘直径： Ø103mm 2、载样盘轴向行程： 12mm 3、数显表精度： 0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程： 1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸：直径≤ 103mm、厚度≤ 13mm |
产品规格 | 尺寸： 外径 146mm ，高 266mm |
标准配件 | 1、真空泵 |
2、过滤瓶 3、底座 4、玻璃片 |