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产品简介
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产品简介：
GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm ，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM 样品表面的镀膜。GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现 象；陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用。GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪体积小，操作简单，适合用于实验室中对小样品的镀膜使用。
| 产品名称 | GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪 |
| 产品型号 | GSL-1100X-SPC-16 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上 5、通风装置：不需要 |
| 主要特点 | 1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得的镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
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| 技术参数 | 1、电源： 220V 2、总功率： <2000W （包括真空泵） 3、真空室： Ø160mm×120mm 4 、样品台： Ø50mm，且高度可调， 可同时进行 8 个 SEM 样品的镀膜 5 、max 均匀镀膜： Ø45mm |
| 产品规格 | 尺寸： 400mm×300mm×400mm；重量： 30kg | ||
| 标准配件 | 1 | 金靶材 | 1 个 |
| 2 | 进气针阀 | 1 个 | |
| 3 | 保险丝 | 2 个 | |
| 可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||