一、产品特点

亚纳米级分辨率

低像差锥形物镜

大束流

自动化控制系统

超大样品仓

镜筒加速技术  显著降低色差 低压下高质量成像

二、技术参数

三、产品功能

· 样品区全域视场矩阵自动规划，拍照流程无需人工干预

· 百千张级数据量快速拼接实时预览，构建全域清晰扫描大图

06 关键尺寸测量

具备距离，角度，水平线/垂直线/圆径测算等，丰富的图像测量功能

四、定制能力

1、电子束曝光（EBL）

2、真空互联

·真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测。

·自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。

3、激光联用-超快电镜

·超快电镜利用激光、电场等外界刺激使样品达到激发态。使用时间延迟可调的另一束激光作用于电

镜灯丝，产生脉冲电子束照射于样品表面进而收集表面逸出的二次电子对激发瞬态进行表征。

五、应用案例