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产品简介
产地类别 | 进口 | 产品类型 | 无油泵 |
---|---|---|---|
价格区间 | 2万-3万 | 仪器种类 | 真空泵 |
应用领域 | 化工,生物产业,农林牧渔,建材/家具,综合 | 供货号 | 137.1702.5688 |
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴,实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。
产品介绍
ULVAC 爱发科 螺杆型干泵 日本原装
ULVAC 爱发科 螺杆型干泵 日本原装
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴,实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。
用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
型式 MS120A MS600A MS1200A 最大排气速度 *1 m3/h 115 560 980 到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1 电源电压 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消费电力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷却水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 最大水蒸气处理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸气口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排气口 KF40 质量 *4 kg 139 241 264
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