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深圳市京都玉崎电子有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品类型 | 无油泵 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 2万-3万 | 仪器种类 | 真空泵 |
| 应用领域 | 化工,生物产业,农林牧渔,建材/家具,综合 | 供货号 | 137.1702.5688 |
采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省空间。出色的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。
特点安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
产品介绍
原装 现货ULVAC 爱发科 涡轮分子泵
原装 现货ULVAC 爱发科 涡轮分子泵
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
规格
| 型号 | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵体 | 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
| 法兰口径 | 吸气口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排气口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排气速度 (无防护网时) | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到达压力 *2 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | |||
| 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | |||||
| 最大压缩比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸气口压力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排气口压力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 连续运转 最大流量 *8 | 无排放 气体 | N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 无排放 气体 | Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 有排放 气体 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
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