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深圳市京都玉崎电子有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 2千-5千 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,生物产业,能源,建材/家具,综合 | 供货号 | 137.1702.5688 |
涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
产品介绍
ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 日本供应
ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 日本供应
特点
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。
用途
各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。
规格
表格1
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出线口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | ||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽速*2 | 氮气 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氩气 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氢2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩率 | 氮气 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| 氢2 | 1×10 4 | 4×10 3 | ||||||||
| 最大入口压力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口压力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋转速度 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
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