INFICON英福康电容膜片真空计（CDG025D-X3）

抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有很好的零点稳定性和预计数百万次压强周期(包括大气冲击)的长使用寿命。特别的传感器屏蔽保护真空计免受过程污染。坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了EMC兼容性、长期稳定性和温度补偿。CDG025D为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。

在对精度和可靠性要求很高的应用中，INFICON SKY 推出了 CDG025D-X3 电容式隔膜真空计，这是一款用于压力测量和控制的顶级产品。这款压力表将数十年的经验与先进的技术相结合，在业内树立了很高的标准。

高精度温度补偿： CDG025D-X3 采用先进的温度补偿技术。这确保了仪器即使在恶劣条件下也能提供可靠、准确的测量。

耐腐蚀陶瓷传感器具有出色的零点稳定性，使用寿命长达数百万次压力循环，包括大气爆破。

先进的数字电子元件： 这款压力表的电子元件不仅是先进的，而且还提供了一系列令人印象深刻的功能。一键归零和设定点调整功能提高了使用的便捷性。

INFICON英福康电容膜片真空计（CDG025D-X3）

最新 SKY® 技术

长寿命陶瓷传感器： 耐腐蚀的超陶瓷传感器使压力表具有出色的长期信号稳定性和数百万次压力循环的预期寿命，即使在大气压力下降时也是如此。

此外，传感器防护罩可保护压力表免受工艺污染。这一点在半导体生产设备等典型应用中尤为重要，特别是在蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 等工艺中。CDG025D-X3 也非常适合数据存储和显示制造设备、工业真空工艺设备以及需要高精度的一般压力测量。

特质和优势

在当今的工业环境中，电磁干扰可能是一个严重的问题，CDG025D-X3 在设计时充分考虑了电磁兼容性。此外，CDG025D-X3 还具有出色的长期稳定性和温度补偿功能，可确保多年的可靠性能。

此外，CDG025D-X3 还具有开机后快速稳定和暴露于大气压力后同样快速恢复的特性，是要求苛刻的工业应用中必需的仪器。它不仅仅是一个真空计，更是真空测量技术领域质量和创新的象征。

优势

l全量程范围为 100 mTorr ... 1000 Torr

l通电后快速稳定

l从大气压快速恢复

l耐腐蚀陶瓷传感器

l出色的长期信号稳定性

l温度补偿

l传感器双重保护，防止污染

l一键归零功能

l宽范围电源

l2 个设定点

lRS232 接口

l符合无尘室标准

典型应用

l用于蚀刻、CVD、PVD、ALD 的半导体制造设备

l数据存储和显示制造设备

l工业真空设备

l一般高精度压力测量

杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。