Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计（TTR101）

性能特点

l测量范围广：测量范围从 5×10⁻⁵ mbar 到 1500 mbar，涵盖了从粗真空到高真空的较宽范围，可满足多种真空应用场景的测量需求。

l精度较高：在 10mbar 到 1500mbar 的测量范围之间，测量精度高，且不受被测气体的影响，能够提供准确可靠的测量结果。

l传感器坚固耐用：其包含的 MEMS Pirani 传感器元件和压电传感器元件都极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入，具有较好的稳定性和可靠性，适用于较为苛刻的工作环境。

l安装位置不敏感：MEMS Pirani 传感器由于其几何形状，空腔内无法进行对流，气体分子只能通过扩散到达热元件，因此传感器对安装位置并不敏感，方便在不同的系统中进行安装和使用。

工作原理

该真空计结合了皮拉尼原理与电容薄膜原理。其中，MEMS Pirani 传感器元件基于热传导性的测量结果，包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面，芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面，通过测量气体的热损耗来反映真空度；压电传感器基于相对于集成式参考真空的硅膜机械偏转测量结果，可独立于气体成分和浓度来测量真实的绝对压力。

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计（TTR101）

技术参数

l输出接口：配备 RS232 数字通信接口和 EtherCAT 数字通信接口的变送器版本，可设置变送器参数，并可提供实时压力测量结果。部分型号还带有线性模拟 0-10V 输出，可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数或进行压力控制。

l显示功能：部分型号配备集成式触屏显示器，能够监控基本的变送器参数，方便用户直接读取测量结果和进行参数设置。

l继电器功能：拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁，可根据设定的压力值自动控制相关设备的运行。

应用领域

l工业应用：广泛应用于各种工业生产过程中的真空测量与控制，如真空镀膜、真空干燥、真空包装等领域，确保生产过程中的真空环境符合工艺要求。

l研发领域：在科研实验中，可用于实验室的真空系统控制、前级管道和粗抽压力测量、气体回填测量和控制等，为科研工作提供准确的真空度测量。

l半导体行业：在半导体制造过程中，如光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺中，对真空环境的要求很高，TTR101 真空计可用于精确测量和控制真空度，保证产品质量和生产效率。

l分析和涂料工业：在分析仪器如质谱仪、气相色谱仪等中，可作为真空度测量的关键部件，确保仪器的正常运行和分析结果的准确性；在涂料工业中，可用于涂料的真空干燥和固化过程中的真空控制。