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应用领域 | 环保,建材/家具,电子/电池,电气,综合 |
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INFICON复合真空计
INFICON复合真空计
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
与皮拉尼电阻规一样,这种规也需要在不同的使用气体下标定。
热阴极电离规
测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。
图5 热阴极电离规
如图5所示,热阴极电离规中,由热阴极即灯丝发射电子,电离真空中的气体分子,产生离子,由收集极收集产生的离子,形成离子电流,通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度,进而得到气压大小。
这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。
经改进后的热阴极电离规,Bayard-Alpert规,可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同气体在相同气压下的电离率不同,这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定
在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等。
在10~10Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。
在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
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INFICON PCG550 3PC1-001-0000
Infineon "FZ2400R17HE4_B9 "
infineon FF300R17KE3
Infineon FZ2400R17KE3_B9_S1
Intel EXPI9301CTBLK
INTELLIGENT IM483
Interface IBX-2130CM
INTERFACE IBX-2726CM
interface PCI-2130C
Invensys MP-5210-0-0-4
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