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产品简介
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产品介绍
TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。
技术优势
.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
. 最大可用于12寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；
. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；
. 满足1um以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;
. 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
. 配显微镜三维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。
模块介绍
通用参数
常规选型
相关配件
多种精度，多种夹具类型探针座
同轴线缆，三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
应用领域
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套精密型光电测试探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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