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高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。
技术优势
· 控温范围可达-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系统）；
· 控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃;
· 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；
· 探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；
· 三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构;
· 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。
通用参数
选型表
相关配件
多种精度，多种夹具类型探针座
同轴线缆，三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
应用领域
半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验室。
谱量光电可以根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台系统，以达到更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询
