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| 样品台尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 | 样品台行程 | XY轴110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调 |
|---|---|---|---|
| 样品台位移精度 | 3μm | 背电极测试功能 | 可引背电极 |
| 样品台真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min | 样品固定方式 | 环形真空吸附 |
| 样品台定制化 | 可定制（尺寸/材质/镀金/背光） | 探针座行程 | XYZ三轴13mm |
| 探针座调节精度 | 3μm | 探针座固定方式 | 可调磁力吸附（可选配真空吸附，螺丝固定） |
| 接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | 成像显微镜 | 双目体式显微镜（可升级金相显微镜） |
| 放大倍数 | ~200倍（最大可升级到~1000倍） | CCD | 2000W高清彩色相机 |
| 显微镜位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm | 探针座数量 | 标配 3 个 |
产品简介
详细介绍
探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。
TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。
技术优势：
● 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
● 最大可用于12英寸以内样品测试；
● 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；
● 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；
● 满足1μm以上电极/PAD使用；
● 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；
● 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
● 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
● 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。
细节展示：
详细模块配置及参数说明：
常规选型：
实验附件及常规测试步骤：
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。
测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域：
半导体材料光电检测功率器件测试MEMS测试PCB测试液晶面板测试测量表面电阻率测试精密仪器生产检测航空航天实验
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。