一、产品简介
CIF紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。
CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到最佳清洗效果。
二、产品特点
1. UVO基础型采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。
2. 自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
3. 数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
4. 任何时间可以手动中断处理过程。
5. 自动记录之前清洗参数设置。
6. 样品台可控温（可选），控温范围RT-220℃，控温精度0.1℃。
7. 顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
8. 上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
9. 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
10. UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
11. 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
12. 可累计计时UV格栅灯使用时长，更换提示。
13. UV反射罩（长X宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
14. 双重安全保护，带有安全锁，当清洗腔打开时，系统自动关掉UV灯，并有灯光通断提示。
15. 带进&出气口双气路设计。
16. 可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。
17. UVO5可选外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器，用于臭氧清除。
18. 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
三、技术参数
| 产品型号 | UV灯尺寸cm | 样品台高度cm | 主机重量kg | 外型尺寸（LxWxH）cm |
| UVO5/UVO5P/UVO5T | 13x13 | 5cm内可调 | 6 | 31x26x20 |
| UVO9/UVO9P/UVO9T | 23x23 | 5cm内可调 | 12.5 | 60x50x20 |
| UVO13/UVO13P/UVO13T | 33x33 | 5cm内可调 | 18.5 | 70x60x20 |
注：UVO型基础型样品台不带加热功能，样品台高度可调；UVOP可选配样品台加热功能，样品台高度可调；UVOT标配样品台加热功能，样品台高度可调。
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