一、探针式轮廓仪/台阶仪 产品参数：
1. 测量功能：二维表面轮廓测量 /可选三维测量
2. 样品视景：可选放大倍率，1 to 4mm FOV
3. 探针压力：使用LIS 3 传感器 1至15mg
4. 低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg
5. 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um
6. 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客户要求定制针尖
7. 样品X/Y载物台：
手动X-Y平移：100mm (4英寸）
机动X-Y平移：150mm (6 英寸)
8. 样品旋转台：手动，360° 旋转 机动，360°旋转
9. 扫描长度范围：55mm(2英寸)
二、探针式轮廓仪/台阶仪 技术优势：
1. 每次扫描数据点：最多可达120.000数据点
2. 最大样品厚度：50mm(2英寸)
3. 最大晶圆尺寸：200mm(8英寸)
4 台阶高度重现性：<4A，1sigma在1um台阶上
5. 垂直范围：1mm(0.039英寸)
6.垂直分辨率：最大1A (6.55um垂直范围下)
三、企业概述
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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