一、低压化学气相沉积系统LPCVD 产品介绍：
1. 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求
2. 直径200毫米的石英室
3. 内部石英管的设计便于拆卸和清洗
4. 基片尺寸可达直径150毫米
5. 三区电阻炉，150毫米的均匀温度区
6. 温度最高可达1000°C
7. 使用节流型VAT蝶形阀下游压力控制在50 mTorr到500 mTorr之间
8.88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 两级干式真空
二、低压化学气相沉积系统LPCVD 企业简介：
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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