LYRA3

LYRA3系列是在MIRA3扫描电子显微镜平台 上结合竦(Ga)离子源聚焦镜筒的双束(F旧-SEM)系 统，继承了 MIRA3扫描电镜强大的综合分析功能， 并将二维形貌观测和分析扩展到三维领域。

LYRA3系列专门针对科研机构与企业单位对 FIB-SEM的使用及需求设计制造，大束流、高分辨 的特点使其在EDS、WDS、EBSD、3D断层扫描 分析等领域具有特优势。3系列可同时进行 加工和观测，实现精确地定位切削、沉积，适用于 微纳尺度的加工和TEM制样等工作。

高性能离子系统

3系列配有高重复性马达驱动光阑转换器 的聚焦离子束镜筒，可同步实现SEM成像和FIB蚀 刻沉积。并且，3系列提供两款高性能的FIB 镜筒供选择：

•  适合于高速准确的截面切割和TEM样品制备的高 性能CANION型FIB镜筒。

•  超高成像和样品处理分辨率的COBRA型FIB镜 筒，分辨率达到2.5 nm @ 30 kVo

•  SEM 分辨率：1.0nm@30kV

•  F旧分辨率：2.5nm@30kV

•  3D立体成像技术可提供实时SEM和三维可 视化F旧蚀刻、沉积图像

•  GIS气体注入系统，有多种气体源可选，能 够实现选择性切削和沉积

•  简单易用的软件，设有可编程参数，适用于 各种基本和复杂的形状绘制

•  强大的扩展分析能力，可集成多种分析附 件，实现样品的综合微区分析

1.超高分辨的3D EBSD应用。

2.高质量的超薄TEM薄片制备。

3.制备具有1 pm顶端半径的高精度纳米柱，用于进行机械测试使用。

4.小鼠小脑组织三维重构，2 kV连续成像，重构尺寸：6.5 x 6.6 x 5.7卩m3。