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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>> MKS LVF3527AMKS 射频电源 LVF3527A 27MHz 3500W
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| 供货周期 | 现货 | 货号 | LVF3527A-10B-05 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型号 | LVF3527A |
| M/N | LVF3527A-10B-05 | P/N | 660-072825-200 |
| 频率 | 27MHz | 输出功率 | 3500W |
| 设备状态 | Refurbished |
MKS 射频电源 LVF3527A 27MHz 3500W RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。MKS 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。MKS LVF系列射频电源能够实现对射频输出的精准控制，具有优良的成膜能力，在半导体薄膜工艺中有广泛应用。
MKS 射频电源 LVF3527A 27MHz 3500W 参数规格
设备品牌：MKS
设备型号：LVF3527A
AC Input：3 phase~ PE，208V，30A，50/60Hz
RF Output：27MHz，3500W
通信接口：RS-232C，Remote Panel，Analog I/O
设备散热：风冷+水冷散热
水冷进水需求：水冷流速2Gal/min（7.5L/min），水温 5℃~35℃，Max 水压60PSI（414kPa）
设备重量：32kg（70lbs）
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