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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>> KYOSAN JFK85TH-TC6KYOSAN 射频电源 JFK85TH-TC6
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ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供货周期 | 现货 | 货号 | 2L39-000048-64 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型号 | JFK85TH-TC6 |
| P/N | 2L39-000048-64 | 频率 | 3.2MHz |
| 输出功率 | 8500W | 设备状态 | Refurbished |
KYOSAN 射频电源 JFK85TH-TC6 RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。KYOSAN JFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。该款射频电源具有优良的成膜能力，在半导体薄膜工艺中得到广泛应用，较快的成膜速度能够在一定程度上提高产线效率。
KYOSAN 射频电源 JFK85TH-TC6 参数规格
设备品牌：KYOSAN
设备型号：JFK85TH-TC6
AC Input：3 phase~，200~208V，50A，50/60Hz
RF Output：8500W，3.2MHz
通信接口：DEBUG，Analog I/F，Device Net
散热方式：水冷散热
水冷进水需求：MIN进水流量 5.5L/min
设备重量：50kg
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